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隨著使用要求和工藝條件的發(fā)展，我們要求產(chǎn)品的尺寸越做越小，集成度越來(lái)越高。觀察和測(cè)量的范圍也從毫米級(jí)變成微米級(jí)，現(xiàn)在更是演變到納米級(jí)。傳統(tǒng)的探針接觸式表面粗糙度儀漸漸滿(mǎn)足不了最新的測(cè)量需求。

今天為您帶來(lái)的全新的3D立體形貌測(cè)量?jī)x，該技術(shù)顛覆傳統(tǒng)， 將共聚焦、干涉和多焦面疊加技術(shù)融合于一身，帶您感受高清晰的納米世界。

彩色共聚焦觀察方式使用戶(hù)能在視場(chǎng)內(nèi)觀察到納米級(jí)的細(xì)節(jié)。掃描時(shí)用紅、綠、藍(lán)三色LED交替照明，獲得三張單色的圖像，最后還原成高分瀕率彩色圖像和高質(zhì)量的彩色表面紋理圖。

共聚焦技術(shù)可以用來(lái)測(cè)量各類(lèi)樣品表面的形貌。 它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率,可達(dá)0.09 μm。利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測(cè)量。專(zhuān)利的共聚焦算法保證Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米范疇。

白光干涉是一種納米級(jí)測(cè)量精度的用于測(cè)量各種表面高度形貌的技術(shù)。它的優(yōu)勢(shì)在于任何放大倍數(shù)都可以保證納米級(jí)的縱向分辨率

多焦面疊加技術(shù)是用來(lái)測(cè)量非常粗糙的表面形貌。此功能來(lái)補(bǔ)足低倍共聚焦測(cè)量的需要。該技術(shù)的最大亮點(diǎn)是快速 (mm/s)、掃描范圍大和支援斜率大（最大86°）。此功能對(duì)工件和模具測(cè)量特別有用。

太陽(yáng)能

鏡頭

測(cè)量視頻

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